a,內(nèi)裝修工程：（高架地板工程、潔凈室隔墻板系統(tǒng)、鋁合金龍骨吊頂/ceiling grid、無(wú)塵涂裝、環(huán)氧地坪等）、壓差控制系統(tǒng)、ESD防靜電等；

b,循環(huán)空調(diào)系統(tǒng)：（包括部分供熱與通風(fēng)系統(tǒng)，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高過(guò)濾器、化學(xué)過(guò)濾器etc.、送氣風(fēng)機(jī)、排氣風(fēng)機(jī) etc.）；

c,FOUNDATION：防震機(jī)座、粉塵監(jiān)測(cè)智能系統(tǒng)/DMS系統(tǒng)、風(fēng)淋室、傳遞窗、層流罩、潔凈工作臺(tái)、潔凈洗手器、潔凈衣架、潔凈電梯、正壓潔凈樓梯間系統(tǒng)、化學(xué)品儲(chǔ)存冷庫(kù)和壓縮機(jī)etc.

Mechanical System [ 機(jī)械系統(tǒng) ]

中央動(dòng)力，Central utility： Mechenical（熱水、冷凍水、軟水、工藝設(shè)備冷卻水PCW、生產(chǎn)上水、自來(lái)水﹑飲用水、一般蒸汽和潔凈蒸汽等管路供應(yīng)系統(tǒng)；鍋爐、冷凍機(jī)、冷卻塔、空壓機(jī)等廠(chǎng)務(wù)設(shè)施）

Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊氣體和大宗氣體 ]

a,Bulk Gas： GAS YARD氣站， CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然氣）【包括普通和超純/精制氣體】，壓縮空氣（CDA）--有些FAB還將機(jī)臺(tái)用CDA和廠(chǎng)務(wù)設(shè)備用CDA供應(yīng)系統(tǒng)分開(kāi)，呼吸空氣供應(yīng)系統(tǒng)等；

b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭 )：

（1）易燃性氣體(Flammable Gas)

（2）毒性氣體（Toxic Gas）

（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）

（4）惰性氣體(Inert Gas)

（5）氧化性氣體（Oxide Gas）

（6）低壓/保溫氣體（Heat  Gas)

Water Treatment System [ 水處理系統(tǒng) ]

a,超純水供應(yīng)系統(tǒng)、熱/溫純水供應(yīng)系統(tǒng)、一次純水（RO水）供應(yīng)系統(tǒng) etc.

b,工藝廢水處理（酸、堿、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、溫排水、純水回收、一般排水、TMAH顯影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）

c,辦公用給排水系統(tǒng)：飲用水供應(yīng)、自來(lái)水供應(yīng)、生活污水處理、雨水排放系統(tǒng)etc

Exhaust System[工藝排氣系統(tǒng)]

a,工廠(chǎng)SCRUBBER:酸、堿、有機(jī)VOC、粉塵、一般排氣etc.[有些FAB還包括了緊急排煙/事故排風(fēng)系統(tǒng)]

b,LOCAL SCRUBBER（一般附屬于工藝設(shè)備）：依其原理大概可分成下列幾類(lèi) (1)電熱水洗式; (2)燃燒水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。純水設(shè)備

Chemical Dispensing System[化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)]

包括化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)和化學(xué)品回收系統(tǒng)，具體使用的化學(xué)品種類(lèi)根據(jù)每個(gè)FAB產(chǎn)品的不同而不同:

a,Chemical Dispensing System化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)

酸性

堿性

有機(jī)溶劑

氧化腐蝕性

b,化學(xué)品回收系統(tǒng)：光刻膠resist、STRIPPER剝離液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、異丙醇、硫酸廢液、硫酸銅廢液回收等

Vacuum System [ 真空系統(tǒng) ]

真空系統(tǒng)包括工藝真空(Process Vacuum )、真空吸塵(Hose Vacuum)或者清掃用真空、設(shè)備真空Pumping-line/vent系統(tǒng)/Pumping-Exhaust系統(tǒng)。

Power Supply & Automation System [ 電力供應(yīng)及自動(dòng)化 ]

a,強(qiáng)電：高低壓供電（包括中央變電站和各終端變電站）、ups電源供應(yīng)系統(tǒng)（蓄電池組）、緊急柴油發(fā)電機(jī)系統(tǒng)、SSTS高速切換開(kāi)關(guān)、VSS電容補(bǔ)償系統(tǒng)等、各類(lèi)配電盤(pán)、照明（包括tear drop淚滴型照明燈具、黃光燈）、插座；

b,弱電：各類(lèi)動(dòng)力、EHS方面的自控部分（包括各類(lèi)弱電盤(pán)面）、FMCS廠(chǎng)務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)（包括各sub-scada系統(tǒng)），【監(jiān)控方面還有氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS）、氣體偵測(cè)系統(tǒng)（GDS）、有的廠(chǎng)是GMS＋GDS＝FMCS、純水設(shè)備有的廠(chǎng)GMS和GDS會(huì)分開(kāi)來(lái)的】、各類(lèi)電氣接地、靜電防護(hù)系統(tǒng)etc.

Construction [ 建筑結(jié)構(gòu) ]

建筑結(jié)構(gòu)相關(guān)(包含廠(chǎng)房維修)，主要分為建筑和結(jié)構(gòu)兩大塊（有些FAB將EHS相關(guān)的防火門(mén)、逃生門(mén)、緊急疏散口、擋煙垂臂、升降平臺(tái)etc.也歸入此類(lèi)）

EHS System Control [ 環(huán)境健康安全 ]

EHS涉及環(huán)境保護(hù)（污染物控制【三廢處理等】、有害物質(zhì)控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】）、健康（職業(yè)衛(wèi)生）、工業(yè)安全、能源、治安保衛(wèi)、ERC（ERT應(yīng)急響應(yīng)等）、風(fēng)險(xiǎn)管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】，EHS其它等。

硬件涉及：消火栓設(shè)備、噴淋系統(tǒng)、漏液檢測(cè)系統(tǒng)、門(mén)禁系統(tǒng)、電話(huà)廣播系統(tǒng)、PHS系統(tǒng)、緊急對(duì)講機(jī)系統(tǒng)，感溫電纜報(bào)警系統(tǒng)、vesda、煙感熱感探頭、閉路電視系統(tǒng)/CCTV監(jiān)視攝像頭、消防與觀光電梯、地震監(jiān)控系統(tǒng)、SCBA呼吸面具、緊急沖淋、各類(lèi)滅火器、PPE個(gè)人防護(hù)用具etc.

Energy Saving[廠(chǎng)務(wù)節(jié)能]

涵蓋所有廠(chǎng)務(wù)系統(tǒng)的節(jié)能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等，純水設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備，蘭州去離子水設(shè)備，蘭州水處理設(shè)備，超純水設(shè)備，醫(yī)用GMP純化水設(shè)備。銀川純水設(shè)備。